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技术参数:
换气次数:十万级10-15次/小时;万级15-25次/小时;千级50-52次/小时;百级操作台断面风速 0.25-0.35m/s。压差:主车间对相邻房间≥5Pa。 温度:冬季>16℃±2℃;夏季 <26℃±2℃;相对湿度:45-65%(RH);噪声≤65dB(A);新风补充量:总送风量的20%-30%;照度 ge;300Lux。
结构材料:
1.洁净室墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板、净化专用的氧化铝型材制造。门采用净化密闭门,窗采用铝合金玻璃固定窗。
2.地面采用环氧自流平或高级耐磨塑料洁净地板。
3.净化通风管道选用镀锌薄钢板制作,并采用“PEF”阻燃型的保温板做保温。
一、配电
洁净室(区)的主要生产用房一般照度值宜≥300Lx;辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200~300Lx。
二、噪声控制
1.动态测试时,万级洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。
2.静态测试时,万级乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A。
三、气流组织
十万级洁净室主要采用的送风方式:1.局部孔板顶棚送风;2.带扩散板高效空气过滤器顶棚送风;3.上侧墙送风 等三种送风方式。
十万级洁净室主要采用的回风方式:1.单侧墙下部布置回风口;2.当采用走廊回风时,在走廊内均匀布置回风口或在走廊端部集中设置回风口。
送风口风速(米/秒):1.孔板孔口3~5;2.侧送风口:(1)贴附射流2~5 ;(2)非贴附射流同侧墙下部回风1.5~2.5,对侧墙下部回凤1.0~1.5 。
回风口风速(米/秒):1.洁净室回风口不大于2;2.走廊内回风口不大于4。
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